Zondų antgalių taisymo įrankiai pirmiausia skirstomi pagal zondo tipą ir pasyvumo laipsnį. Jie apima fizinius valymo įrankius, cheminio valymo įrangą, elektrocheminius remonto įrenginius ir specializuotus diagnostikos prietaisus. Šie įrankiai naudojami šiek tiek pasyvuotų zondų veikimui atkurti arba nustatyti, ar zondą reikia pakeisti.
I. Fizinio valymo įrankiai: tinka paviršių užteršimui arba silpnai oksidacijai
1. Ultra-Smulkūs abrazyviniai įrankiai
Itin smulkus{0}}šlifavimo popierius (2 000 arba didesnis): naudojamas metalinių zondų (pvz., Pogo kaiščių ar multimetro bandymo laidų) paviršiaus oksido sluoksniui poliruoti laidumui atkurti.
-Nepūkuojantis audinys + izopropilo alkoholis (IPA): naudojamas zondo antgalių dėmėms nuvalyti; paprastas naudoti ir tinkamas greitam apdorojimui vietoje-.
Mikro-valdomas poliruoklis: leidžia kontroliuoti zondų poliravimą po mikroskopu, apsaugodamas nuo pernelyg didelio nusidėvėjimo.
Taikomi scenarijai: įprastinė pramoninių bandymo zondų ir grandinės taisymo adatų priežiūra.
2. Oro srauto ir valymo įrankiai
Azoto pūtimo pistoletas: pašalina dulkes, prilipusias prie zondo galiukų, užkertant kelią antriniam užteršimui.
Ultragarsinis valiklis: naudojamas kartu su valymo tirpalu, kad efektyviai pašalintų daleles ir organinius likučius.
II. Cheminė ir elektrocheminė remonto įranga: tikslingas oksido sluoksnių pašalinimas
1. Cheminio valymo tirpalai
Praskiesta vandenilio chlorido rūgštis arba citrinos rūgšties tirpalas: naudojamas metaliniams zondams (pvz., volframui, berilio variui) mirkyti, kad ištirptų paviršiaus oksidai.
Specializuotas elektroninių zondų valymo skystis: parduodami produktai (pvz., DeoxIT D5), kurie gali saugiai pašalinti oksido plėveles nepažeidžiant pagrindo medžiagos.
Pastaba: netinka silicio{0}}pagrįstiems AFM zondams, nes gali korozuoti konsolės struktūrą.
2. Elektrocheminiai remonto įrenginiai
Valdoma{0}}Srovės elektrolizės sistema: pašalina oksidų sluoksnius reguliuodama įtampą ir elektrolito koncentraciją, nekeičiant zondo geometrinės formos.
Mikro-elektrolitinis elementas: specialiai sukurtas smulkaus-skersmens zondams, kad būtų galima atlikti vietinį valymą.
Privalumai: Didelis valymo tikslumas ir minimali žala; tinka didelės vertės{0}}zondams prižiūrėti.
III. Specializuoti nanomastelio zondų apdorojimo metodai (neskirti naudoti namuose)
1. Plazmos valiklis
Naudoja deguonies plazmą organiniams teršalams skaidyti; plačiai naudojamas laboratoriniam -AFM ir puslaidininkinių zondų valymui.
Efektyviai padidina antgalio reaktyvumą ir atkuria paviršiaus laidumą.
2. Fokusuoto jonų pluošto (FIB) galandimas
„Skulptūra“ atbukina antgalius atominėje skalėje, kad{0}}atkurtų ryškų profilį.
Aukštos klasės{0}}tyrimo metodas, reikalaujantis didelių išlaidų, skirtas naudoti tik pagal specializuotus scenarijus.
Praktiniai apribojimai: FIB įranga yra brangi ir sudėtinga eksploatuoti; jis neturi universalios vertės kaip remonto sprendimas ir paprastai yra mažiau ekonomiškas ir patikimas nei tiesiog zondo pakeitimas nauju.
IV. Po-remonto patvirtinimo įrankiai: našumo standartų laikymosi užtikrinimas
1. Nuskaitomasis elektroninis mikroskopas (SEM)
Tiesiogiai stebi galiuko morfologiją, kad nustatytų, ar atkurtas kreivio spindulys.
Laboratorijoje naudojamas kaip autoritetingiausias antgalio bukumo vertinimo metodas.
2. Baltos šviesos interferometras / AFM savarankiškas-kalibravimas
Netiesiogiai įvertina zondo būklę per 3D paviršiaus rekonstrukciją arba standartinių mėginių vaizdavimą.
Tinka įprastiniam patikrinimui aplinkoje, kurioje SEM nepasiekiama.
3. Standartinis mėginių tyrimo metodas
Naudoja pavyzdžius su žinomomis struktūromis (pvz., HOPG, difrakcijos gardelės standartais) lyginamajam skenavimui.
Jei gauti vaizdai yra aiškūs ir juose nėra platėjančių artefaktų, tai reiškia, kad zondas veikia normaliai.
